1: すらいむ ★ 2024/08/13(火) 23:11:08.87 ID:BLSDY3gA 先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 沖縄科技大 人工知能(AI)など大量の情報処理が求められる先端半導体の製造に欠かせない「EUVリソグラフィー(極端紫外線露光装置)」の大幅な省エネやコスト削減を図る技術を、沖縄科学技術大学院大学(OIST)の新竹積教授(物理工学)が開発した。 装置で使用する反射鏡を従来の10枚から4枚に減らし、消費電力を10分の1に抑えた。 実用化できれば1社独占の技術に一石を投じ、先端半導体製造分野で日本勢が巻き返す可能性も秘めているという。 (以下略、続きはソースでご確認ください) Science Portal 8/13(火) 18:23 引用元: ・【半導体】先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 OIST [すらいむ★]…