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【半導体】OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案

1: すらいむ ★ 2024/07/30(火) 23:09:26.08 ID:DtYEaBbz OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案　沖縄科学技術大学院大学(OIST)は7月29日、小型のEUV光源でも動作し、消費電力が従来の10分の1以下にまで減らせる、これまでの先端半導体製造の常識を覆す「EUV(極端紫外線)リソグラフィー」技術を提案したことを発表した。　同成果は、OIST 量子波光学顕微鏡ユニットの新竹積教授によるもの。　査読前プレプリントが「arXiv」に掲載されている。（以下略、続きはソースでご確認ください）マイナビニュース　2024/07/30 19:09 引用元: ・【半導体】OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案 [すらいむ★]…

2024/08/06 05:00 常識的に考えたあとで読む 🐦Tweet

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