1: すらいむ ★ 2026/11/04(水) 20:54:10.04 ID:VF9hF9U+ 韓国が窒素だけで-120℃の冷却に成功、半導体製造を変える新型チラーを開発 この記事のポイント 何が起きた: 韓国機械研究院(KIMM)が11月2日、窒素を冷媒とするチラーで-120℃以下、冷却能力15kWを研究チームの試験で確認したと発表した。 なぜ重要か: 極低温エッチング用チラーは高GWPの不燃冷媒に頼ってきた。EUは12kW超で-50℃未満の半導体用機種に2029年末までの適用除外を認めている。 次に見るべき点: 運転条件の公表と第三者による測定、KIMMが示した移転先の2027年製品化目標、冷却15kWに電力90kWを使う効率の扱い。 (以下略、続きはソースでご確認ください) xenospectrum 2026年11月4日 引用元: ・韓国が窒素だけで-120°Cの冷却に成功、半導体製造を変える新型チラーを開発 [すらいむ★]…